전자신문 한양대 EUV노광기술연구센터 소개돼

9월 18일자 은 한양대스마트반도체연구원(ISS)을 구성하는 4개의 연구센터 중 하나이자 국내 EUV 연구 생태계 선구자 역할을 하고 있는 연구기관으로 한양대학교 ‘EUV노광기술연구센터’를 소개했다.지난 13일 오후 한양대 극자외선노광기술연구센터. 엄격한 연구 환경을 위해 방진복을 입고 에어샤워를 마쳐야 입장할 수 있다. 연구원이 조정하는 장비에서는 초록색 빛이 새어 나왔다. 800nm 파장 고에너지 적외선 레이저로 장비 내 극자외선(EUV)을 생성하기 위해 투입된다.장비 한켠에서는 다른 연구원이 모니터로 시험 결과를 확